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뼈 녹일 수 있는 '불산' 감지하는 고감도 센서 개발

2023년 07월 19일 17시 11분
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반도체 공정에서 필수로 쓰이지만 공기 중에 존재하면 사람 뼈를 녹일 수 있는 유해 가스인 불산을 감지할 수 있는 고감도 센서가 개발됐습니다.

포스텍 백창기 교수팀은 불산과 반응성이 높은 물질인 불화 란탄에 실리콘 반도체 공정기술을 도입해 기체 불산을 감지하는 민감도가 기존 센서보다 3배 이상 우수한
고감도·초경량 센서를 개발했다고 밝혔습니다.

또 불산 용액을 감지하는 능력은 기존 센서보다 390배 우수했다며, 오차율은 5% 이내였다고 설명했습니다.

YTN 사이언스 최소라 (csr73@ytn.co.kr)

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