브라보 K-사이언티스트
나노 임프린트 공정을 위한 장비를 개발하다
2023년 06월 02일 15시 45분
나노 임프린트 기술의 정밀함은 어떻게 만들어질까?
공정 자체는 단순하지만
그 공정을 구현하는 장비는 단순하지 않다.
이재종 박사가 개발한 나노 소자 제조 장비들을 살펴본다.
#나노소자#나노임프린트#임프린트기술#나노패턴#반도체
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