브라보 K-사이언티스트
반도체 생산 효율을 향상시키는 EUV 펠리클
2023년 01월 13일 14시 32분
안진호 교수는 치열한 EUV 기술 경쟁에서
살아남기 위해 또 다른 기술을 개발하고 있다.
노광 공정 중 발생할 수 있는 마스크 오염을
효율적으로 제거할 수 있는 EUV 펠리클을 개발하여
반도체 생산 효율을 향상시킨 것이다.
#EUV 펠리클#펠리클#EUV 기술#반도체#노광공정
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