반도체 기술 이용해 고해상도 전자피부 기기 개발

국내 연구팀이 피부에 부착해 건강 상태를 측정하는 전자피부 기기를 개발했습니다.

DGIST 이성원 교수 연구팀은 반도체 제조에 사용되는 전사기술을 응용해 나노메쉬 기판 위에 고해상도 전자피부 기기를 구현하는 데 성공했습니다.

고분자 나노섬유가 그물처럼 얽힌 형태의 나노메쉬 기판은 피부에 부착하면 땀이나 습기를 잘 증발시켜 차세대 전자피부 소재로 주목받고 있습니다.

하지만 열에 약해 고온에서 진행되는 정밀미세 공정을 적용하기 어려웠는데, 반도체 소자를 기판에서 떼어내 다른 기판으로 옮기는 전사기술을 적용해 고해상도 패턴을 가진 전자회로를 안정적으로 구현하는데 성공했습니다.

또 기존 나노메쉬 전극은 안정적인 전도성을 위해 100㎚(나노미터) 이상의 두께가 필요했지만, 이번 기술을 통해 20㎚ 이하의 두께에서도 높은 전도성을 확보했습니다.






YTN 사이언스 김은별 (kimeb0124@ytn.co.kr)