中, 美 제재에 입자가속기 활용 반도체 노광장비 공장 추진

미국의 반도체 수출 통제가 오히려 중국의 기술 자립을 가속화 하고 있다는 지적이 있는 가운데 중국이 첨단반도체용 노광 기술을 개발해 관련 공장을 추진하고 있다는 보도가 나왔습니다.

홍콩 사우스차이나모닝포스트는 중국이 미국 주도 반도체 노광장비 수출 통제를 피할 방법을 찾는 과정에서 칭화대 연구진이 입자 가속기를 활용해 새로운 광원을 만들어내는 프로젝트를 진행해 성과를 거뒀다고 보도했습니다.

신문은 중국이 이 해당 기술을 바탕으로 슝안신구에 거대한 반도체 노광장비 공장을 지으려 한다고 전했습니다.

이 신문은 네덜란드 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비는 수출을 위해 크기를 되도록 줄인 반면 중국은 여러 대의 노광장비가 둘레 100∼150ｍ의 거대한 입자가속기 한 대를 에워싸는 방식으로 대규모 공장을 지을 계획이라고 설명했습니다.

극자외선 노광장비는 7㎚(나노미터=10억분의 1ｍ) 이하 초미세 반도체 공정 구현에 필수적인 장비로 세계에서 ASML만 독점 생산하고 있으며 네덜란드는 2019년부터 중국 수출을 금지했습니다.








YTN 류제웅 (jwryoo@ytn.co.kr)