반도체 제조 온실가스 '사불화탄소' 효과적 제거

국내 연구진이 반도체 제조 공정에 사용되는 온실가스 '사불화탄소'를 효과적으로 제거할 수 있는 촉매를 개발했습니다.

한국과학기술원 연구진은 '엔트로피 안정화' 원리를 이용해 알루미늄과 아연 등을 알루미네이트 구조 안에 고르게 섞어 고온과 수분 등 가혹한 환경에서도 안정적인 새 촉매를 개발했다고 밝혔습니다.

개발한 촉매는 기존의 알루미나 촉매보다 사불화탄소를 약 2.3배 더 잘 분해했습니다.

엔트로피 안정화는 서로 다른 원자를 하나의 구조 안에 고르게 섞으면 배열은 복잡해지지만, 전체 구조는 안정적으로 유지되는 물리 현상입니다.


YTN 사이언스 김은별 (kimeb0124@ytn.co.kr)