반도체 고순도 가스, 객관적 평가 체계 구축

[앵커]

반도체 공정에 필수 요소인 고순도 가스는 불순물이 조금만 있어도 제품 불량으로 이어질 수 있는데요.

국내 연구팀이 이 가스의 품질을 객관적으로 평가할 수 있는 체계를 구축했습니다.

김은별 기자입니다.

[기자]

반도체 웨이퍼에 회로를 새기는 과정 등에 활용되는 고순도 가스.

여기에는 조금이라도 불순물이 섞이면 곧바로 제품 불량으로 이어질 수 있습니다.

국내 연구팀이 반도체 주요 공정에 쓰이는 고순도 가스 15종의 순도를 분석할 수 있는 기술과 시험절차를 확립했습니다.

순도분석은 가스 속 불순물을 찾아내 전체에서 빼는 방식으로 이뤄지는데,

불순물이 극미량이다 보니 여러 정밀 장비가 필요하고 가스 누출을 막을 안전설비까지 갖춰야 해 체계 구축이 쉽지 않았습니다.

이번 평가 체계 구축으로 공급업체의 자체 성적서에만 의존하던 방식에서 벗어나 객관적인 입증이 가능해졌다는 설명입니다.

연구팀은 이번 품질체계를 통해 국내 대표 반도체 기업을 포함해 총 34건의 시험서비스를 현재까지 제공했다고 설명했습니다.

[오 상 협 / 한국표준과학연구원 책임연구원 : "국내 가스 제조업체의 가스 제조 기술 개발이 많이 진행되고 있거든요. 가스의 순도가 결정적인 핵심 키니까 순도를 품질 평가를 해 주고 삼성하고는 지금도 용역 과제를 같이 하고 있고요. 하이닉스는 몇 년 전에 했었고…."]

여기에 더해 연구팀은 불순물을 더 정확하게 분석하는 데 필요한 인증표준물질 6종을 개발했습니다.

연구팀은 반도체 공정이 발전하면서 새로운 가스가 발견되고 있는 만큼, 품질 평가 체계를 더욱 확대해나갈 계획이라고 밝혔습니다.

YTN 사이언스 김은별입니다.


YTN 사이언스 김은별 (kimeb0124@ytn.co.kr)