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사이언스 투데이

자기부상 기술로 반도체·디스플레이 생산성 높인다

[앵커]
반도체나 디스플레이의 경우 진공 상태에서 제품을 만들게 되는데, 수분과 분진이 골치입니다.

자기부상 기술을 이용해 대형 물품을 분진 발생 없이 이송할 수 있는 기술이 개발돼 생산성을 크게 개선할 전망입니다.

이정우 기자입니다.

[기자]
반도체와 OLED 디스플레이를 만들 때 기판 위에 붙이는 '증착' 공정이 꼭 필요합니다.

원하는 물질을 반도체 기판 등 필요한 곳에 붙여서 특수 기능을 수행할 수 있기 때문입니다.

이 과정에서 기판에 수분이나 먼지가 닿으면 불량품이 발생하고, 생산율이 떨어져 청정하고 정밀한 제조 환경이 필수적입니다.

국내 연구진이 자기부상 기술을 이용해 분진 등의 발생 없이 대형 물품을 정밀하게 이송할 수 있는 기술을 개발했습니다.

[김창현 / 한국기계연구원 자기부상연구실 : 비접촉으로 분진이라든지 수분 발생 같은 게 전혀 없고요. 그리고 진공에도 적용할 수 있어서 저희가 증착 공정에, OLED 제조공정에 사용할 수 있습니다.]

진공 상태에서 800㎏급 캐리어를 전자석을 이용해 1㎜ 부상시킨 뒤 전동기로 왕복시키는 기술입니다.

한국기계연구원이 개발해 인천국제공항 도시형 자기부상열차에 적용한 원천기술을 첨단산업에 적용한 겁니다.

자기부상 기술은 바퀴와 베어링 등에서 분진이 발생하지 않고, 정밀 제어로 균일한 속도를 유지해 안정적인 증착을 할 수 있습니다.

고 청정 환경에서 정밀한 이송이 가능한 이 기술은 반도체와 디스플레이 산업의 생산성 향상은 물론 다른 분야에도 적용이 가능합니다.

[박도영 / 기계연구원 자기부상열차 실용화사업단 : 새로운 제품 개발이라든지 하는데 적용될 수 있기 때문에 현재는 당연히 눈에 보이지 않지만 향후 우리나라가 새로운 물건을 만들 때 크게 도움이 될 거라고 생각합니다.]

이 기술은 국내 기업에 이전돼 기판을 수직으로 세워서 작업하는 신공정 개발 등 자기부상 기술 상용화에 앞장서게 됩니다.

YTN 이정우[ljwwow@ytn.co.kr]입니다.
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